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電磁式微小流量センサー VNR 【生産終了】

電磁式微小流量センサー VNR

半導体製造工程などに使用される、イオン交換水の微小流量管理に最適です。
1〜12mL/min(25mL/min:脈動がない場合)と微小な流量が計測可能です。
電磁式のため可動部がなく、高い耐久性を有します。
イオン交換水以外の計測をご希望される場合には、最寄りの支店・営業所までご相談願います。

特長

イオン交換水のモニタリングが可能

イオン交換水のモニタリングが可能

導電率範囲1〜15μS/cmでモニタリングOKです。

微小流量を正確に計測

微小流量を正確に計測

1mL/min から計測できます。

ポンプの異常/気泡検知が可能

ポンプの異常/気泡検知が可能

ポンプの異常を知ることで、品質劣化を未然に防ぎ、品質管理に役立ちます。

脈動流の計測が可能

脈動流の計測が可能(1〜12mL/min)

一定流量(脈動しない)計測も可能です。(1〜25mL/min)

多彩な出力機能

多彩な出力機能

瞬時/積算/4〜20mA出力ができます。アナログ出力により、流量制御、記録計等と接続可能。

設置が容易

設置が容易

前後の直管が不要、省スペースでの設置が可能。接続は、クイックファスナーを採用。

配管条件と適応ポンプ 機器構成

●適応ポンプ (計測動作確認済みポンプ)

 ・イワキ社製:ハイセラポンプ V-05
・タクミナ社製:定量ポンプSシリーズ SYPA1-004
(両ポンプとも、1ストローク当たりの吐出量は最大にして下さい。)


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仕様

流量検出部 基本性能

流量範囲 1〜12mL/min
対象流体 イオン交換水 他
導電率範囲 1〜15μS/cm
流体温度 5〜50℃
流体圧力 0〜200kPa (耐圧200kPa)
圧力損失 10kPa以下
精度 ±2.5%FS(導電率範囲1〜15μS/cm 、液体温度25℃)
電源 DC24V±10%
接続形状 テーパーメスねじ(Rc1/4)
流れ方向 矢印方向で示された1方向
取り付け姿勢 自由
背圧 20kPa 以上
出力ケーブル 4心(AWG28)

表示部 基本性能

電源 DC24V±10%
流量表示 瞬時流量/積算流量(スイッチ切替)、瞬時流量バー表示
出力信号 電流出力 流量に比例した4〜20mA電流出力 (負荷抵抗 520Ω以下)
パルス出力 NPNオープンコレクタ出力
(最大電流10mA、最大電圧DC30V、ON電圧DC1V以下)
現地設定項目 ゼロ点調整/ダンピング時間
消費電力 4W以下(電流出力 20mA出力時)

耐環境性(流量検出部・表示部 共通)

使用環境 -10〜50℃ 80%RH以下
保護等級 IP50
接液材質 流路 シリカ[SiO2](耐熱性ガラス)
電極 クロム[Cr]
接着剤 エポキシ
本体ケース PPS
Oリング・パッキン EPDM
継手 SUS304
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外形寸法

(単位:mm)
外形寸法図
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